联系我们
自动处理晶圆：KUKA晶圆处理解决方案
凭借库卡晶圆处理解决方案，库卡机器人已从单一来源开发出世界性的自动转移和处理半导体盒式磁带的解决方案。该应用程序包括一个标准化的自动导引车（AGV）和经过服务验证的库卡 LBR iiwa 轻型机器人。此外，还开发了一种精密的夹具系统。该软件也来自库卡机器人。
库卡机器人应用
半导体行业洁净室环境的库卡机器人解决方案
移动性由KMR 200 CR移动平台提供。该平台具有麦克纳姆轮，可实现全向运动。平台上的传感器实时感知环境，从而避免碰撞。支持人机协作的库卡 LBR iiwa 机器人安装在平台上。库卡机器人的灵敏度使其能够安全地处理敏感的晶圆盒而不会产生振动。该应用程序的第三个组件是定制的夹具。夹具系统已获得库卡机器人公司的知识权。
库卡 LBR iiwa 机器人
软件控制移动机器人车队
用于晶圆处理的洁净室应用的硬件和软件均来自库卡机器人。晶圆处理软件解决方案无缝融入半导体制造商的制造执行系统。集成到软件中的车队经理控制转移订单，以确保极佳自动化半导体生产。所有解决方案均来自单一来源并经过认证。这导致极短的调试时间，使该系统成为市场上极具灵活的处理系统。